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仪器设备名称:
电子束蒸发镀膜仪
图片:
仪器型号:
ATS 500
仪器厂商(国别):
HHV LTD英国
仪器原值:
102万元
购置日期:
2018.06
仪器主要附件:
名称: 智能激光冷水机
机组所在部门
联系电话:
7321com必赢
0531-82767856
仪器位置及现状:
逸夫楼B213 正常
开放机时安排:
提前预约
主要技术指标:
1)偏转角 270度的e型电子枪,额定功率 3kW; 2)铜坩埚容量4cc; 3)真空系统:腔室极限真空 小于等于5.0*10^(-5)Pa; 5)蒸发速率测量分辨率大于等于0.001nm/s。
应用范围/服务内容:
金属蒸镀
服务技术领域:
非金属及先进建筑材料、复合材料、金属材料
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